上海微电子中标一台步进扫描式光刻机 金额约1.1亿元

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据中国政府采购网公示，上海微电子装备(集团)股份有限公司中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额1.1亿元。(科创板日报)